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陶瓷基板激光打孔机

  • Laser Tek
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  • LR-400
陶瓷基板激光打孔机
基板:
種類: Al2O3 及AlN
厚度: 0.1mm~1.5mm
尺寸: 4.5”及5”基板為主,另有5.5X7.5、6、8”自動上下料及6”圓
型基板(不含上下料)
圓孔:
圓直徑: 50um~300um
垂直度: < 12%
速度: 100um 5~7孔/sec. 50um ~10孔/sec
畫線:
線寬:最小30um
速度: > 200mm/sec (300um深以內)
深度: > 300um
精度:累計pitch誤差<10um,單顆誤差< 5um
能力:可以畫線或不規則圖形,斜切與圓弧
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