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中科院宁波材料技术与工程研究所采用Signatone 四探针电阻率测试仪
中科院宁波材料技术与工程研究所已采用我司代理的Signatone 四探针电阻率测试仪,详情请看链接:http://www2.nimte.ac.cn/nano/pages/innogroup/CN_page/lab.htm
四探针表面电阻测量仪
Pro4 Resistivity System
型号(Model): Pro4-4000
生产商(Manufacturer): Lucas-Signatone
用途(Applicatio):
用于半导体晶片或薄膜的电阻率和表面电阻的测试。
The Pro4 provides simple answers to sheet and bulk resistivity measurements of wafers and thin films.
主要参数(Main Parameters):
表面电阻测量范围(Sheet Resistance Measurement Range):1.0×10-3~1.2×106Ω/□